重點注意事項:
1、人流
1-1、人員凈化:
1-2、潔凈室入口宜設空氣吹淋室。當不設空氣吹淋室時,應設氣閘室;
1-3、單人空氣吹淋室,應按**班人數30人設一臺。潔凈室人員超過5人時,空氣吹淋室一側應設單向旁通門;
1-4、空氣吹淋室的進、出門不得同時開啟,應采取連鎖控制措施;
1-5、空氣潔凈度等級為5級或嚴于5級的垂直單向流潔凈室,宜設氣閘室。
2、物流
2-1、潔凈室內的設備和物料出入口,應獨立設置,并應根據設備和物料的特征、性質、形狀等設置凈化用室及相應的物凈設施。
2-2、物料凈化用室與潔凈室之間應設置氣閘室或傳遞窗。
3、靜壓差
3-1、不同等級的潔凈室之間的靜壓差應大于等于5Pa;
3-2、潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應大于5Pa;
3-3、潔凈室與室外的靜壓差應大于10Pa。
4、根據生產要求需設計相應防靜電設施。
5、電子工業潔凈室空氣潔凈度等級表
空氣潔凈度等級(N) | 大于或等于要求粒徑的**濃度限值(pc/m3) | |||||
0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm | |
1 | 10 | 2 | -- | -- | -- | -- |
2 | 100 | 24 | 10 | 4 | -- | -- |
3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | -- |
4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | -- |
5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
7 | -- | -- | -- | 352000 | 83200 | 29300 |
8 | -- | -- | -- | 3520000 | 832000 | 29300 |
9 | -- | -- | -- | 35200000 | 8320000 | 293000 |
注:按不同的測量方法,各等級水平的濃度數據的有效數字不應超過3位。
Copyright © 2023 東莞市盛大凈化設備科技有限公司 版權所有 備案號:粵ICP備11009106號 XML地圖 網站維護:天英網絡